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首頁(yè) > 產(chǎn)品 > 運(yùn)動(dòng)控制與系統(tǒng) > 常溫壓電位移臺(tái) > 亞納米標(biāo)準(zhǔn)壓電掃描臺(tái)S100.xx.C/S、S300.X.c/s系列

S100.z.C /S

亞納米標(biāo)準(zhǔn)壓電掃描臺(tái)S100.xx.C/S、S300.X.c/s系列

特點(diǎn)：

• 緊湊設(shè)計(jì)、XYZ三軸在極小外形尺寸范圍內(nèi)做到較大行程

• 高負(fù)載，負(fù)載可至500g

• 閉環(huán)精度優(yōu)于1nm

• 支持超高真空、無(wú)磁版本選用

產(chǎn)品咨詢(xún)

資料與圖紙

產(chǎn)品概述

產(chǎn)品概述

亞納米標(biāo)準(zhǔn)壓電掃描臺(tái)特點(diǎn)：

• 緊湊設(shè)計(jì)、XYZ三軸在極小外形尺寸范圍內(nèi)做到較大行程

• 高負(fù)載，負(fù)載可至500g

• 閉環(huán)精度優(yōu)于1nm

• 支持超高真空、無(wú)磁版本選用

命名規(guī)則

亞納米標(biāo)準(zhǔn)壓電掃描臺(tái)選型表

型號(hào)	S100.z.C /S	S300.x.C	S100.xy /xyz.C
運(yùn)動(dòng)方向	Z方向	X方向	S100.XY : X，Y方向 S100.XYZ : X，Y，Z 方向
底面尺寸×高度（mm）	40×40×18	50×50×17	55×55×40
主體材料	鋁合金 & 不銹鋼
自重（g）	150	200	500
運(yùn)動(dòng)行程（um）	100(閉環(huán))	300 (開(kāi)環(huán)) 250 ( 閉環(huán))	S100.xy.C :100×100 S100.xyz.C : 100×100 ×100
運(yùn)動(dòng)分辨率（nm）	0.2	1	0.2 (開(kāi)環(huán)) 1 (閉環(huán))
運(yùn)動(dòng)可重復(fù)精度（nm）	± 5	士10	< 10
線性誤差	優(yōu)于0.02%	優(yōu)于0.1%	優(yōu)于 0.1%
共振頻率（Hz）	500	350	X，Y: 400 ，350 Z: 300
剛性（N/um）	0.5	/	0.5
閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本）	電容式
驅(qū)動(dòng)電壓	150V	Max.150 V	150V
推薦使用溫度	-20~80°C

亞納米標(biāo)準(zhǔn)壓電掃描臺(tái)尺寸圖