CarrierHS100.xxx.C/S系列中空壓電掃描臺(tái)

• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 1nm

• 最大負(fù)載 3.5 kg

• 針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案

• 支持無(wú)磁 (NM) 和高真空 (UHV) 選件升級(jí)

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產(chǎn)品概述

特點(diǎn)：

• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 1nm

• 最大負(fù)載 3.5 kg

• 針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案

• 支持無(wú)磁 (NM) 和高真空 (UHV) 選件升級(jí)

CarrierHS100.xxx.C/S系列中空壓電掃描臺(tái)命名規(guī)則

CarrierHS100.xxx.C/S系列中空壓電掃描臺(tái)選型表

型號(hào)	Carrier.HS100.z.C	Carrier.HS100.xy.C	Carrier.HS100.zTxTy.C	Carrier.S100.xyRz.C
工作環(huán)境	.NM，絕對(duì)無(wú)磁版本； .UHV，超高真空版本；
運(yùn)動(dòng)方向	Z方向	XY 方向	Z，θx & θy	XY 方向 + Rz旋轉(zhuǎn)
底面尺寸×高度（mm）	150×50×30	150×150×30	150×150×30	150×50×30
主體材料	鋁合金 & 不銹鋼
自重（g）	1000
運(yùn)動(dòng)行程	100 um	100 um ×100 um	100 um，1 mrad & 1mrad	100 um x 100 um Rz:1 mard
中空透孔（mm）	66×66
線性度誤差（z方向運(yùn)動(dòng)）	0.035%
俯仰/偏擺/旋轉(zhuǎn)	50 urad / 50 urad / 10 urad	/	/	/
運(yùn)動(dòng)分辨率（閉環(huán)/開(kāi)環(huán)）	1 nm / 0.3 nm	1 nm / 0.2 nm	1 nm / 0.5 nm	1 nm / 0.2 nm
運(yùn)動(dòng)可重復(fù)精度	± 10 nm	± 10 nm	± 10 nm, ± 0.1urad	± 10 nm
剛性（N/ um）	2.5	2	2	2
共振頻率（空載/2.5 kg）	500 Hz/ 200 Hz	420 Hz/ 130 Hz	480 Hz/ 160 Hz	420 Hz/ 130 Hz
最大負(fù)載（kg）	5	3.5	2.5	3.5
閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本）	電容式
驅(qū)動(dòng)電壓	Max. 150 V
推薦使用溫度	-15 ~ 40 °C

尺寸圖：